气敏传感器分类(2)_传感器门户网

所谓半导体气敏传感器，是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。

早在20世纪30年代就已经发现氧化亚铜的导电率随水蒸气的吸附而发生改变。其后又发现许多其它金属氧化物也都具在气敏效应。这些金属氧化物都是利用陶瓷工艺制成的具有半导体特性的材料，因此称之谓半导体陶瓷，简称半导瓷。由于半导瓷与半导体单晶相比具有工艺简单、价格低廉等优点，因此已经用它制作了多种具有实用价值的敏感元件。半导体气敏传感器的种类如表12-1所示。

表12-1 半导体气体传感器的分类

	主要物理特性		传感器举例	工作温度	典型被测气体
电阻式	电阻	表面控制型	氧化银、氧化锌	室温~450℃	可燃性气体
电阻式	电阻	体控制型	氧化钛、氧化钴、氧化镁、氧化锡	700℃以上	酒精、氧气、可燃性气体
非电阻式	表面电位		氧化银	室温	硫醇
	二极管整流特性		铂/硫化镉、铂/氧化钛	室温~200℃	氢气、一氧化碳、酒精
	晶体管特性		铂栅MOS场效应晶体管	150℃	氢气、硫化氢

(责任编辑：传感器)

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