|
二、电阻型气敏器件 电阻型气敏器件在目前使用的比较广泛。按其结构，可分为烧结型，薄膜型和厚膜型三种，下面分别予以介绍。 1、烧结型 烧结型气敏器件的制作是将一定配比的敏感材料(SnO2、InO)及掺杂剂(Pt、Pb)等以水或粘合剂调和，经研磨后使其均匀混合，然后将已均匀混合的膏状物滴入模具内，用传统的制陶方法进行烧结。烧结时埋入加热丝和测量电极，最后将加热丝和测量电极焊在管座上，加特制外壳构成器件。这种器件一般分为内热式和旁热式两种结构，如图12-2和图12-3所示。
内热式器件管芯体积一般都很小，加热丝直接埋在金属氧化物半导体材料内，兼作一个测量板，该结构制造工艺简单。其缺点是：①热容量小，易受环境气流的影响；②测量电路和加热电路之间相互影响；③加热丝在加热和不加热状态下产生胀、缩，容易造成与材料接触不良的现象。 旁热式气敏器件的管芯是在陶瓷管内放置高阻加热丝，在瓷管外涂梳状金电极，再在金电极外涂气敏半导体材料。这种结构形式克服了内热式器件的缺点，使器件稳定性有明显提高。
(责任编辑：传感器) |